Atomik tabaka epitaksisi (ALE), kimyasal buhar biriktirme(CVD) yönteminin özel bir şekli olarak da düşünülebilir. Epitaksial filmlerin kontrollu gelişimini sağlamak amaçlı biriktirme ve katı alt malzeme yüzeyinde biçimlendirilmiş moleküler yapı oluşturma işlemidir. Tek atomlu tabakaların seri halde büyütülebilmesi ALE’nin karakteristik özelliğidir. Bu yüzden istenen kaplama kalınlığı ancak işlemdeki seri reaksiyonların sayımıyla elde edilebilir. […]
