Gaz formundaki bir kimyasal bağlantının katı formda reaksiyon ürünü olarak çöktürülmesi yada bir başka madde üzerinde ayrıştırılması nedeniyle oldukça fazla öneme sahip bir prosestir.Konstrüksiyon elemanlarının ve takımların aşınmadan korunması için sert metal karbür,nitrür ve borür gibi belirli metal olmayan yada metal bağlantıları kaplama olarak malzemeye bağlanabilesi özel anlam taşır.

Kimyasal – termik yöntemlerde yüzey tabakasının oluşumunda metal yada metal olmayan atomlar substrad malzeme içerisine nüfuz ettirilirken, CVD yönteminde sadece tabaka/substrad sınır yüzeyinde bir difüzyon prosesi görülür yada örneğin titan içerisine karbonun titankarbür olarak çöktürülmesi gibi, çöktürülen metal içerisine substrad malzeme olarak, çelikler, sert metal,seramik malzemeler ve demir olmayan metaller söz konusudur.Çöktürülen tabakanın kalınlığı, genellikle 10 ila 30 mikro metre arasındadır.Kaplama sıcaklığı, yapılan kaplamanın türüne bağlıdır ve genellikle 900 ila 1100 0 C arasındadır.

İşlem süresi yapılan tabaka kalınlığına bağlı olarak, çoğu zaman 2 ila 4 saat arasında değişir.Reaksiyonun yapıldığı haznenin alt basıncına etki ederek, tabaka büyümesinin hızı yükseltilebilir.Çeliklerde, yüksek işlem sıcaklıklarında kaplamadan sonra bir sertleştirme gereklidir, böylece ince sert madde tabakası daha iyi korunabilir.bu uygulama daha çok, şekillendirme takımlarında , vida taraklarında ve tekstil makinalarının mekik yürütme elemanlarında ve özellikle titankarbür yada kromkarbür ile titankarbürden oluşan çift katlı kaplamalarda yapılır.Ancak, ana kullanım alanı, döndürmeli sert metal kesme plakalarıdır.