Silisyumlamada gaz fazındaki silisyum, 110-1200 0 C de çelik yüzeyine nüfüz ettirilir.Yüzeydeki silisyum miktarı, %14 ‘e kadar ulaşabilir.Silisyumlama işlemi, silisyumlanacak parçaların silisyumkarbür ve silisyumklorür içerisinde paketlenmesiyle yapılır.Yüksek sıcaklıkta kapalı hacim içerisinde klor ve hidrojen parça üzerinden geçirilir.Çelikteki mevcut karbon, silisyumun grafit yapıcı etkisinden dolayı temper kömürü olarak ayrışır.Silisyum içeren tabaka , aşınmaya karşı dayanımı yükseltmesinin yanında,aside dayanıklılığıda arttırır.Ayrışan temper kömürü parçacıkları aside dayanıklılığı önemli ölçüde azalttığından, silisyumlanan çeliklerde karbon miktarının %0,1 den az olması gerekir.

Malzemelerin silisyumlanması için bir diğer yöntem de , parçaların ferrosilisyum ile paketlenmesidir.Ayrıca; 1150 0 C de azot , azot ve klor da verilebilir.Bundan başka, silisyumlanan parçalar paketlenmez,silisyum verici gaz içerisinde reaksiyon yaptırılabilir.Bu yöntemde , yüksek karbonlu çeliklerde de % 14’e kadar silisyum içeren tabakalar oluşturulabilir.Tabaka kalınlığı, kısa süreler için bile oldukça büyüktür.Örneğin 1150 0 C difüzyon sıcaklığında, 4 saat sürede 3mm tabaka kalınlığına ulaşılabilir.Bu tarz kısa süreli işlemde,temper kömürü ayrışması da olmaz.